阿爾泰科技產品在無塵室環境中的應用

概述

無塵室是半導體生產的關鍵設施。不對生產過程進行嚴格的控制將產生有缺陷的芯片并且浪費寶貴的資源。對無塵室環境的監控包括管理空氣過濾系統、控制系統以及監測室內的溫度、濕度、壓力、氣體成分和其它參數。為半導體制造商工作的現場工程師希望能夠連續簡單地使用無塵室環境監控系統。這樣的系統應該能夠收集數據進行分析，確保制造過程在可接受的參數下進行，從而防止問題的發生。系統應該確保加工過程符合半導體工業標準-一個非常重要的因素。用DAM-3000 系列數據采集模塊構成一個**的無塵室監測系統的核心。它們提供了一個經濟的、易于實施的解決方案。

系統要求

半導體制造商需要靈活、易于使用的系統。操作員需要獲取和分析整個工廠的信息，這些信息通過輪流查詢詢遍布工廠的遠程傳感器而得到。他們想將一個新的系統增加到現有的加工過程和設備中，而不干擾或修改已經建設好的控制系統。自然地，制造商想要一個低成本的解決方案，并且在理想狀況下應該是一個總監管系統。

系統配置：

產品型號	性能指標
DAM-3018	繼電器輸出：8路A型繼電器 LED指示輸出狀態
DAM-3058	輸入類型：V、mA 輸入通道：6路差分，2路單端/8路差分
DAM-3027	輸入：8路TTL電平邏輯電平0：+1V max 邏輯電平1：+2.4V min 輸出：8路TTL輸出

阿爾泰解決方案

系統拓撲圖

我們開發了一個基于RS-485多點網絡的解決方案。為保護無塵室，系統必須有效可靠地監視過濾器風扇。DAM-3027數字量輸入輸出模塊可以很好地執行這項重要任務。DAM-3058具有8路模擬量輸入處理能力，能夠**地監視空氣溫度、壓力和濕度，防止塵埃的增加。

風淋室是為工作人員進出潔凈區所設置的專用通道，可以有效的降低外部人員進入潔凈區所帶來的污染問題，并同時起到氣閘室密閉潔凈室的作用。風淋室通用性強，可與所有的潔凈室與潔凈廠房配套使用。使用DAM-3026模塊來控制風淋室和貨料進入的門禁系統，防止外來人員的入內，增加無塵室的塵埃，影響生產。DAM-3018來控制鼓風機的運轉，一般的風淋室的風速要達到20m/s左右，普通的風扇達不到這種要求，所以需要風機來操作。

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